IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing. Conference Proceedings
| 基础信息 | |||
| ISSN: | 1523-553X | 学科： | 计算技术、计算机技术 |
| EI收录： | 是 | Medline收录： | 否 |
| SCI收录： | 否 | JCR分区 | |
| 出版物类型： | 会议录 | 出版社： | I E E E Electron Devices Society |
| 国家： | 美国 | 网址： | http://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome.jsp?punumber=1000654 |
| 语言： | 英语 | 内容类型： | 学术 |
| 刊期： | 不定期 | ||